国家知识产权局信息显示,科讯工业制造(深圳)有限公司申请一项名为“一种用于半导体CMP设备的研磨液隔膜阀及其组装方法”的专利,公开号CN121474372A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本发明涉及隔膜阀技术领域,提出一种用于半导体CMP设备的研磨液隔膜阀及其组装方法。该隔膜阀包括在内部设有3°至10°倾斜环形阶面的阀座、耐磨隔膜片以及调节组件,耐磨隔膜片具有橡胶主体、PTFE耐磨层及带限位部预埋螺纹件,调节组件包含调节杆、隔膜连轴压块、手轮及可移动限位调节螺母。本发明利用斜面接触实现非极限预压的静态密封,消除流道死区,防止研磨液结晶;通过PTFE耐磨层提升耐磨性;独特的限位调节螺母设计允许设定关闭行程或保留闭合间隙,实现全关与防结晶滴漏模式的灵活切换。本发明具有高洁净、长寿命及工艺适应性强的特点,适用于半导体精密流体控制。
天眼查资料显示,科讯工业制造(深圳)有限公司,成立于2005年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1117.3万人民币。通过天眼查大数据分析,科讯工业制造(深圳)有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目38次,财产线条,此外企业还拥有行政许可13个。
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