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ICHOR-流体输送系统设计与制造的行业专家
作者:管理员    发布于:2026-02-20 22:17    文字:【】【】【
摘要:公司是专注于为半导体资本设备设计、制造关键流体输送子系统和组件的企业,核心产品包括气体与化学品输送系统(统称流体输送系统),是半导体工艺工具的关键要素。作为主要原

  公司是专注于为半导体资本设备设计、制造关键流体输送子系统和组件的企业,核心产品包括气体与化学品输送系统(统称流体输送系统),是半导体工艺工具的关键要素。作为主要原始设备制造商(OEM)的“交钥匙”合作伙伴,公司助力客户将工具设计、生产及支持的非核心环节外包,使其聚焦工艺与技术研发。公司的总部位于加利福尼亚州弗里蒙特,在全球多国设有生产基地,拥有超2000名员工,业务覆盖流体输送系统设计、制造及配套技术服务。

  ICHOR公司的主营业务为:半导体资本设备领域关键流体配送子系统和组件的设计、工程与制造,具体涵盖以下内容:

  1.气体配送子系统:用于蚀刻、沉积等半导体制造工艺中专用气体的精确输送、监控与控制;

  2.化学品配送子系统:用于化学机械抛光(CMP)、电镀、清洁等半导体制造工艺中反应性液体化学品的精准混合与分配;

  Ichor公司的产品广泛应用于多个工业场景,核心产品涵盖阀门、TMS集成气体系统、化学品输送系统、表面贴装附件(SMA)、各类配件、C-密封件(TMX)以及硬件/附件等。接下来,我们将选取其中几类代表性产品为您展开介绍。

  产品介绍:Ichor Systems 生产全系列标准端面密封接头、螺母、焊接接头等。Ichor拥有加工特殊材料的丰富经验,可以定期生产螺纹和端面密封接头,几乎可以满足您应用所需的任何材料。

  产品介绍:chor Systems 生产全系列常规、模块化隔膜阀、模块化计量阀和止回阀,其性能和纯度均达到或超过所有行业标准。我们的常规隔膜阀 (CDV) 系列可为常规安装系统提供高可靠性和价值,而我们的模块化隔膜阀 (MDV) 系列则专为模块化表面安装系统而设计。我们所有阀门的设计均符合 SEMI 规范,具有高可靠性和性能,并与市场上所有竞争系统兼容。

  产品介绍: 模块化气体输送系统的安装需要安装硬件。Ichor 提供气体输送安装所需的全系列螺栓、安装硬件和附件,包括热电偶、集成加热器和陶瓷。

  1.核心设备配套:为领先半导体资本设备制造商设计、生产和维护高性能工艺设备,涵盖气体模块(占半导体工具销售成本 12-15%)、化学和工艺模块(占比 25-45%)。

  2.翻新设备解决方案:为半导体制造商提供成本效益方案,满足性能目标与预算需求。

  2.分析仪器:质谱仪组件、在线.特殊装备:固态二氧化碳螺旋钻、高速机器人技术、流程流量计、油 / 燃油过滤系统、燃气配送设备。

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